根据理论计算每千瓦小时（kW·H）可产臭氧1230g，即生产每千克臭氧只需0.82kW·H。但在工业生产实践中，以空气制臭氧的耗电量达15kW·H/kgO₃以上，还不包括空气干燥部分。目前国内生产的臭氧发生器耗电量为16～20kW·H/kgO₃。由于工业生产臭氧加在电极上的电能只有5％～10％真正用在生产臭氧上，而90％以上电能转变成热能损失掉，而转变成热能部分又必须用流动的冷却水及时排出，不使放电区域温度太高，导致臭氧受热分解，使臭氧产率减低。工业化臭氧发生器运转稳定时，臭氧浓度可达1.02％～1.22％，其质量分数为1％～2％，相当于臭氧化空气中含臭氧20～25mg/L，国产臭氧发生器其臭氧化空气中臭氧浓度一般为10～14mg/L。

生产臭氧的气源目前主要采用清洁干燥的空气，也有采用富氧空气和纯氧，后者气源可提高臭氧化气体中臭氧浓度和单位电耗的臭氧产量。

臭氧发生器输入电流的频率从50Hz变成中频（500～800Hz）或高频（高于1000Hz），臭氧浓度和产率都可增加，其中产量可增加2.7～3.3倍，最高可达7倍。

臭氧发生器的臭氧产量、产率和臭氧浓度与空气的露点、气量、气压、电压等因素有很大关系，下面是某水厂使用的QD－500型臭氧发生器运行特性和前苏联生产的OΠ－121型臭氧发生器产率与空气湿度和冷却水温度的关系。从图2－4－9（1）～（5）的发生器特性曲线及其说明中，可知影响产量的诸因素。

续表