根据硅各向异性腐蚀特点 ，在硅各向异性腐蚀速率图基础上 ，提出算法 ，利用数学软件 MATL AB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程 .程序从二维掩膜描述出发 ，找到相关晶面 ，产生动态的三维几何结构的输出 .并推导出凸角补偿时补偿条的相关尺寸 .其结果对 MEMS加工有一定参考价值

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