发表日期:2007年03期 出版:《中南公路工程 主管单位:湖南省交通科学研究院 作者:王灿辉,陈湘亮,李佳 页数:3页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9ZNGL2007030180 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:183 论文引用次数:2

分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.

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