发表日期:2014年05期 出版:《真空科学与技术学报 主管单位:中国真空学会 作者:蔡明哲,张春雨,巩春志,田修波 页数:6页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9ZKKX2014050020 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:87 论文引用次数:1

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