PDF:长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究
发表日期:2014年05期
出版:《真空科学与技术学报》
主管单位:中国真空学会
作者:蔡明哲,张春雨,巩春志,田修波
页数:6页(依默认发送格式:PDF计算)
PDF编号:PDF9ZKKX2014050020
可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途)
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