直流等离子体离子注入是一种新的离子注入手段。本文基于particle-in-cell模型使用matlab软件对长轴零件直流等离子体离子注入进行数值仿真研究，主要考察工件到等离子体边界栅网距离、工件半径、工件电势以及离子种类对于离子注入范围和角度的影响。结果表明，工件到栅网的距离对注入结果的影响较大，距离...

公告：百度文库、百度云（百度盘）、Matlab演示破解版下载、Matlab运行实例数据暂未提供。