利用纳米压痕技术对单晶硅做纳米压痕试验，得到其载荷-压深曲线。用原子力显微镜测出压痕的三维形貌，结合matlab软件，直接计算出压痕的残余面积，从而得到单晶硅的纳米硬度值。通过对直接面积法与Oliver-Pharr方法测出的硬度值进行分析比较，发现两种方法得到的硬度值都有压痕尺寸效应，但用直接面积法得到...

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