发表日期:2010年05期 出版:《运城学院学报 主管单位:运城学院 作者:杨德 页数:2页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9YCGD2010050120 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:151 论文引用次数:2

薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素,确定各层的厚度和材料可得到期望的谐振频率。通过推导FBAR纵向运动应力方程,得到各层厚度、材料、频率参数与角频率相关的公式;采用matlab对FBAR各层应力和位移的边界、连续性条件方程组的行列式进行牛顿迭代,得到各层的频率...

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