发表日期:2013年12期 出版:《微电机 主管单位:西安微电机研究所 作者:谢潜伟,刘军 页数:3页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9WDJZ2013120180 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:204 论文引用次数:11

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