发表日期:2009年05期 出版:《测试技术学报 主管单位:中国兵工学会 作者:董志,张羿猛,黄芝平,唐贵林,刘纯武 页数:7页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9CSJS2009050100 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:217 论文引用次数:4

在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在.由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各向异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性等的影响,实际测量数据和理论公式总存在一些误差.本文通过实际测量的数据在matlab环境下的分析,得到如下结论:当微结构梁的挠度...

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