发表日期:2004年12期 出版:《计算机应用与软件 主管单位:上海市计算技术研究所;上海计算机软件技术开发中心 作者:张宏立,陈华,李喆 页数:3页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9JYRJ2004120210 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:844 论文引用次数:47

以基于麦克斯韦方程组和边界条件推导出的菲涅尔公式为原始模型,利用matlab优化程序,以S1813光刻胶为例说明matlab在计算介质膜反射光谱中的应用。并结合光刻涂胶实验,利用光纤光谱仪获得实际反射光谱,对该方法进行了验证,实验表明,该方法可以准确计算介质膜的反射光谱,并可通过反射光谱求得膜厚值,简便...

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