发表日期:2014年07期 出版:《传感技术学报 主管单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 作者:张加宏,付洋,葛益娴,顾芳,姚佳慧,黄秦,李猛 页数:7页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9CGJS2014070260 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:117 论文引用次数:4

基于外界压力引起敏感膜片形变导致腔长变化来实现压力信号传感的原理,提出了一种MEMS光纤法珀压力传感器的设计,建立了传感器敏感膜片的挠度变化与膜厚、半径及施加压力的关系理论模型,并在此基础上进行了膜片的matlab二维数值仿真和Comsol Multiphysics三维数值仿真,并完成了FP压力敏感头的制作,进而设...

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