纳米科技独特的魅力在于其纳米效应，而实现纳米效应的关键就是具有纳米结构，周期性纳米结构在高密度数据存储、光子晶体、MEMS和生物传感器中具有大量的应用。不同纳米阵列的研究吸引着各领域的研究人员。本文借助matlab探究不同参数对多光束激光干涉光刻的影响，从两光束到六束光的干涉模拟中分析入射角...

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