发表日期:2010年06期 出版:《红外 主管单位:中国科学院上海技术物理研究所 作者:王忆锋,唐利斌 页数:5页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9HWAI2010060130 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:195 论文引用次数:0

In柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺,In柱高度是评价In柱制备工艺水平的基本指标。通常的In柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法,此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面,另一方面由于In柱表面形貌的微观特性,人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确。提出了一种更合理可行的...

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