发表日期:2015年03期 出版:《固体电子学研究与进展 主管单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 作者:段飞腾,崔宝同 页数:5页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9GTDZ2015030050 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:569 论文引用次数:8

为了确定光谱仪的入射多狭缝结构设计的可靠依据,研究了4种阿达玛S型狭缝阵列发生衍射后的光强分布。采用MEMS加工技术制作出最小狭缝单元为6μm×6μm的一体式微硅片阿达玛狭缝阵列,对3种S7型狭缝和一种S15型狭缝进行比较。首先利用阿达玛矩阵构造狭缝阵列的孔径函数,得到了衍射后的光强分布函数;然后运...

公告:百度文库、百度云(百度盘)、Matlab演示破解版下载、Matlab运行实例数据暂未提供。