本文利用matlab建立了固结磨料抛光的平面度预测模型，根据硅片初始形貌及抛光参数值，可以预测抛光后硅片的表面形貌，并通过实验验证了该模型的可靠性。利用该模型分析了各抛光工艺参数对平面度的影响，结果表明:硅片和抛光垫转速不等时，硅片呈凸形，转速相差越大，平面度越差，但转速大小对平面度影响较小;增...

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