PDF:3英寸SiC衬底无架行星式双面抛光运动学分析
发表日期:2015年18期
出版:《功能材料》
主管单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会
作者:张鹏,冯显英,杨静芳
页数:7页(依默认发送格式:PDF计算)
PDF编号:PDF9GNCL2015180220
可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途)
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