针对3英寸SiC衬底的精密抛光加工，设计了其无架行星式适应性双面抛光机构的几何模型。推导了抛光垫上任一点磨粒A相对SiC衬底的运动轨迹方程。利用C#和matlab联合仿真对太阳轮、行星轮、齿圈以及抛光盘转速和运动轨迹的曲率等工艺参数进行了分析。基于ADAMS工具，进行了双面抛光的运动学仿真，得到了3英寸...

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