为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸，介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法，即用光的干涉方法控制能量场分布。利用matlab的循环计算能力计算光的矢量叠加，仿真光的干涉，分别对杨氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析。经过分析可知:3个或3个以上的光源线性排列时，得到的...

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