采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量，对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究。使用matlab软件，选取了两种面型结构函数，仿真得出重构的面型，选取5个参考点进行了对比。研究结果表明，白光干涉测量具有高精度、测量时间短、相对误差小于0.5%。

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