发表日期:2016年02期 出版:《广东电力 主管单位:广东电网公司电力科学研究院;广东省电机工程学会 作者:李蕾,程汉湘,彭湃,陈杏灿,杨健 页数:4页(依默认发送格式:PDF计算) PDF编号:PDF9GDDL2016020100 可选格式:Word、ePUB、PPT(课件用途) 下载次数:131 论文引用次数:9

针对当前图形化蓝宝石衬底ICP干法工艺刻蚀流程,对工艺腔室真空环境微气压调节非线性特征进行了动态监测,本文提出了一种基于自适应模糊PID的微气压控制算法。该算法利用质量流量计MFC及真空泵组减压阀的参数调节,实现真空环境微气压调节。通过matlab仿真及刻蚀流程气压控制测试表明,工艺腔室的真空微气...

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