横向加工误差包括对准误差和线宽误差，加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论，提出了一种与matlab相结合的分层计算方法，重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明，控制8阶二元光学元件对准误差，可抑制衍射效率的迅速下降，适当调整...

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