真空科学与技术丛书:真空镀膜（Word+PDF+ePub+PPT）
作者：李云奇(作者)
出版：化学工业出版社; 第1版 (2012年8月1日)
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《真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。《真空镀膜》具有权威性、实用性和通用性。
