作者：张汝京(作者) 出版：清华大学出版社; 第1版 (2014年7月1日) 服务：人工校对0错代录+录完后精校排版 此为收费服务：会收取文档代录之人工费 预估录入后页数：433（带目录书签跳转） 请支持正版图书，莫将本服务所得用于非法目的 ✅文档录入及格式制作人工服务，非骗流量 ❤️ 录入后格式：PDF、Word、PPT、ePub、TXT

纳米集成电路制造工艺（ePub+AZW3+PDF+高清）电子书下载 张汝京(作者)

本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM（DesignforManufacturing），集成电路检测与分析、集成电路的可靠性，生产控制，良率提升，芯片测试与芯片封装等项目和课题。国内从事半导体产业的科研工作者、技术工作者和研究生可使用本书作为教科书或参考资料。