半导体集成电路制造技术（精装版）（Word+PDF+ePub+PPT）
作者：张亚非等(作者)
出版：高等教育出版社; 第1版 (2006年6月1日)
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《半导体集成电路制造技术》半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂、微影光刻、金属化处理、封装与测试、生产集成与自动化等工艺整合，讲解集成电路产业技术。本书可作为大专院校微电子学和半导体专业本科生的教材，也可供有关专业工程技术人员阅读参考。
