《压力传感器芯片版图设计中若干重要问题(1)》PDF+DOC
作者:孙以材,高振斌,贾德贵,石俊生,杨瑞霞
单位:信息部电子46所;天津市电子学会
出版:《半导体杂志》1999年第01期
页数:13页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTZ901.0050
DOC编号:DOCBDTZ901.0059
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详细讨论了压阻型压力传感器设计中若刊重要问题。这些问题是合理利用压阻系数和膜上的应力,电阻条的布置和设计以及可靠性。
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