作者:江溯,孙立宁,安辉,李国君 单位:哈尔滨工业大学 出版:《哈尔滨工业大学学报》1998年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHEBX802.0080 DOC编号:DOCHEBX802.0089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了一种结构紧凑、具有纳米级位移分辨率、动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。该驱动模块采用了基于弹性变形原理的微位移机构,并在模块内部藏有电阻应变式微位移传感器,实现了*机构、驱动、检测一体化。

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