《纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造》PDF+DOC
作者:陈春辉,范忠,刘新福,李琼,徐静芳,杨根庆
单位:华东师范大学
出版:《华东师范大学学报(自然科学版)》1998年第04期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHDSZ1998040080
DOC编号:DOCHDSZ1998040089
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该文介绍了用场发射阵列作为电子源的纵向磁敏感传感器(VerticalFieldEmissionArraysMasneticFieldSensor-VFEAMFS)的工作原理,分析了这种磁敏传感器的灵敏度,并阐述了VFEAMFS器件的制造和实验结果以及器件的基本工作参数和提高灵敏度的主要措施。
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