作者：钟先信,李建蜀,肖沙里,徐涛,朱维安,缪秀娥 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1998年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM804.0000 DOC编号：DOCGXJM804.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械技术发展现状》PDF+DOC1997年第06期 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英 《未来的传感器和执行器》PDF+DOC1994年第04期 孙立红 《微电子机械系统》PDF+DOC1995年第10期 王跃林,苏以撒,王文 《微系统技术（连载一）─—微系统技术概况》PDF+DOC1995年第04期 张光照 《微机械加工技术》PDF+DOC1993年第01期 吴冲若 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润

    • 在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。

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