作者:沈桂芬 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1999年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1999040070 DOC编号:DOCCGQJ1999040079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 对圆形、正方形和矩形膜片力敏器件的灵敏度进行了详细剖析,计算并列出大量数据,指出影响压力传感器灵敏度的因素和提高灵敏度的有效途径,给出部分实验数据与理论分析符合较好。本分析对开发设计高灵敏度的力敏元件有重要指导意义。

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