《光栅横向位移遥测传感器》PDF+DOC
作者:杨鑫,郭尚旗,张国雄,蒋诚志
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1999年第01期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM901.0130
DOC编号:DOCGXJM901.0139
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介绍了一种光栅横向位移遥测传感器,被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量,采用差动光路结构。理论计算和实验表明,此系统测量范围大、信号质量好、分辨率和测量精度高,并具有很大的景深范围,可应用于具体生产环境中的位移遥测。
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