作者：庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1998年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ802.0050 DOC编号：DOCGNCQ802.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种实现微流量泵与微流量传感器系统集成的方法。该方法利用双金属驱动微流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能，为进一步实现微流量控制系统奠定了基础。

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