作者：高晓光,李建平,于中尧,朱敏慧 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1999年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1999100020 DOC编号：DOCIKJS1999100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微结构气敏传感器的热分析与结构设计》PDF+DOC2000年第03期 李建平,高晓光,朱敏慧 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC2015年第02期 刘航,李洋 《微机械压力传感器残余应力研究进展与分析》PDF+DOC2018年第10期 刘沙皓伦,邢维巍,李昊霖,邹梦启 《气敏传感器及其发展动向》PDF+DOC1997年第06期 徐毓龙,徐玉成 《离子束溅射生成气敏膜的研究》PDF+DOC1995年第06期 胡兴定,陈俊,张通和,张文朴 《气敏材料的研究进展》PDF+DOC2002年第08期 宁文生,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽 《基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)》PDF+DOC2012年第05期 张子立,殷晨波,朱斌,陶春旻 《微加热板气体传感器的仿真及结构优化》PDF+DOC2010年第08期 张子立,殷晨波,陶春,朱斌 《介孔硅基氧化钨薄膜气敏传感器的性能研究》PDF+DOC2009年第25期 吕川 《氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏传感器对有机气体的监测研究》PDF+DOC2008年第23期 包新荣,连兵,孙小菁

    • 微结构气敏传感器是利用微电子、微机械和薄膜等技术制作的新一代气敏元件。本文报道有限元方法在膜片型微结构气敏传感器设计中的应用。结果表明，有限元方法可用于模拟膜片上的温度分布和器件功耗，对器件结构设计有很好的指导作用。

    📙 相关资料

    1. 《微结构气敏传感器的热分析与结构设计》PDF+DOC 微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等独特优点 ，受到国内外研究者的广泛重视 .本文分析膜片型微结构气敏传感器基本单元的热学行为 ，用有限元方法模拟计算多种不同电极结构的器件功耗及工作区温度分布 ，提出了进一步降低功耗改善工作区温度均匀性的途径和方法 ，并讨论了微结构......
    2. 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC 微热板是微结构气敏元件的重要组成部分，采用Si作为基底，通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层，在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真，通过仿真得到的结果和数据，对器件的整体结构和尺寸进行优化。...
    3. 《微机械压力传感器残余应力研究进展与分析》PDF+DOC 对微机械压力传感器中的残余应力研究进展进行了综述。概述和总结了国内外微机械压力传感器的研究进展和存在问题，分析了残余应力对传感器的零点失调、零点温度系数、输出非线性和输出频率等方面的影响，总结了材料属性、加工温度等因素对残余应力的影响，展望了残余应力测量的发展和趋势。指出可以通过结构设计的优化等方式......
    4. 《气敏传感器及其发展动向》PDF+DOC 着重介绍气敏传感器研究开发的主要方向———微机械气敏传感器和电子鼻...
    5. 《离子束溅射生成气敏膜的研究》PDF+DOC 本文对离子束溅射生成气敏膜作了研究.与烧结陶瓷气敏传感器比较，溅射生成气敏膜对乙醇气体具有灵敏度高，长期稳定，对其它气体选择性好，而且响应恢复时间快.采用X光衍射等手段分析离子束溅射膜的品质，表明材料组织结构相同，与基片附着性好，组织致密。...
    6. 《气敏材料的研究进展》PDF+DOC 从气敏材料种类、制备方法、改善气敏材料缺陷的手段等方面介绍了气敏材料的研究进展，论述了气敏材料研究中的新动向，展望了它的未来发展。...
    7. 《基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)》PDF+DOC 设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析，分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃，气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程，过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜......
    8. 《微加热板气体传感器的仿真及结构优化》PDF+DOC 针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点，在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析，得出了最佳的硅岛尺寸，并提出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计，该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简......
    9. 《介孔硅基氧化钨薄膜气敏传感器的性能研究》PDF+DOC 在表面结构最优的基底上制备的介孔硅基底WO3基薄膜气敏微传感器，并对其进行表面结构，电学性能和气敏性能分析。在室温下介孔硅基氧化钨薄膜气敏元件对体积分数为20&#215；10-6的NH3的灵敏度可达到18.2，50oC灵敏度为1.35。...
    10. 《氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏传感器对有机气体的监测研究》PDF+DOC 用电镀法在多孔硅表面沉积ZnO薄膜，制备了氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件，对元件进行了乙醇、丙酮等五种有机挥发性气体敏感特性的测定。实验结果显示：元件对不同的有机气体的敏感度有差异，这与有机气体的官能团有关系。元件对乙醇、丙酮的敏感性很高，是氧化锌/多孔硅复合薄膜气敏元件对气体分子的物理和化学双重吸......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。