《智能冷阴极规管超高真空计的研制》PDF+DOC
作者:徐锡林,刘益敏,姚传荣,徐为民
单位:中国仪器仪表行业协会;北京市北分仪器技术有限责任公司
出版:《分析仪器》1998年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFXYQ1998010090
DOC编号:DOCFXYQ1998010099
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本文介绍作为真空控制传感器的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据我室光束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求研制的。真空测量范围为5X10-1~5X10-8Pa。采用单片机Intel8031,设备结构简单,使用方便,运行可靠,功能可以扩充。
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