《双岛结构硅压力传感器的非线性内补偿研究》PDF+DOC

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2. 《矩形双岛硅膜结构扩散硅压力传感器》PDF+DOC 本文报道一种已获国家专利的新型扩散硅压力传感器结构。它由带有矩形双岛的方形硅膜和扩散硅力敏电阻全桥组成。用各向异性腐蚀工艺形成其微机械结构。力敏电阻位于小岛形成的沟槽内。由于外应力高度集中于这些沟槽内，故器件的压力灵敏度比C型硅杯结构提高五倍左右。采用该结构还可实现非线性内补偿。本文讨论了最佳补偿条......
3. 《基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器》PDF+DOC 针对深沟槽内结构制作困难的问题，基于单晶硅各向异性腐蚀原理，推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式，通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比；采用适合于三明治微加速度传感器硅芯片制作的无掩模腐蚀成型工艺流程，实现了深沟槽内悬臂......
4. 《基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器》PDF+DOC 为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题，设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律，确定力敏电阻的最佳布局，进一步提高了传感器的灵敏度。这种压力传感器兼具温度特性好、灵敏度高、线性度好等综合性能。...
5. 《新型多晶硅压力传感器》PDF+DOC 论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点．利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算，实验结果与理论分析一致．...
6. 《压阻式医用导管端微型压力传感器》PDF+DOC 本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线，分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm&#215......
7. 《微机械梁-膜结构的压力传感器》PDF+DOC 本文提出了一种用于压阻压力传感器中的微机械梁膜结构.这种结构除有灵敏度高、线性好等优点外，还有其他优良性能，而工艺要求又较已有的各种结构为低.有限元素法的应力分析和实验结果证明了这种结构的优良性能。...
8. 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC 本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构，分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。...
9. 《微压传感器研制中的各向异性腐蚀技术》PDF+DOC 本文讨论了用作微量程压力传感器研制中的各向异性腐蚀技术的机理，介绍了用P-ED腐蚀液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的结果。通过实验，提供了该腐蚀技术的最优化方法并对实验结果进行了分析。...
10. 《具有500倍过压保护能力的单晶硅压力传感器》PDF+DOC 典型的具有单晶硅膜片的普通硅压阻式压力传感器，通常压力要限定在远小于10倍满量程压力以下。而我们制造了一批传感器，它在膜片下使用一个静止的表面，可使传感器耐受了大于500倍以上的满量程压力。这些传感器采用单晶硅材料，用烧结工艺制成。在低压下硅芯片的灵敏度可高达3mV/V&#183；psi(3......