作者：高 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》1998年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI1998030010 DOC编号：DOCHWAI1998030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本专利提供一种表面特性干涉测量装置。该装置的工作方式是这样的：一分束器(26)将一束相干光束分裂成两束线偏振分光束，这两束分光束的偏振方向是垂直的，它们各自均被聚焦在被检测表面的一个点上(34)。经反射后，它们被照射在光电传感器(36)上。光电传感器提供的两束分光束之间的相位差便可以用来评价表面特性。

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