作者：刘泽文,刘理天,李志坚 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1998年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ802.0080 DOC编号：DOCGNCQ802.0089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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