作者：冉多钢,何晓东,刘伟玲 单位：河北工业大学 出版：《河北工业大学学报》1999年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGB1999060180 DOC编号：DOCHBGB1999060189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微小尺寸的测量多采用大琅和费衍射法测量，因为其衍射暗纹间距与被测尺寸之间具有很简单的线性关系．实用中，夫琅和费衍射占用空间很大．而且衍射图象与传感器尺寸很难匹配。通过对菲涅尔衍射和夫琅和费衍射光强分布的深入研究，发现二者暗纹分布是相同的．本项研究将衍射测量扩展到菲涅尔衍射区，不但可以扩展测量范围，还可以通过扩大所接受衍射谱级次的方法，提高测量精度，具有较高的实用价值，理论上也有一定突破。

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