《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC
作者:吴正元,陈涛,陈萍丽
单位:华中科技大学
出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》1999年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHZLG904.0160
DOC编号:DOCHZLG904.0169
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《用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究》PDF+DOC2014年第04期 卞晓月,张健,王剑平,吉淳,吴一奇
采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺(PI)为介质膜,以铬、金为电极的电容式湿度传感器.给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理.测试结果表明:在相对湿度RH为0~96%范围内C~RH曲线线性度良好,灵敏度为RH变化1%,电容变化0.15~0.17pF,该种湿度传感器的RH长期稳定性为3%/
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