作者:吴正元,陈涛,陈萍丽 单位:华中科技大学 出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》1999年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHZLG904.0160 DOC编号:DOCHZLG904.0169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC2005年第06期 万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC1997年第05期 孙承松,周立军,李云鹏 《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC1992年第01期 邹德恕,王东凤 《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC1989年第02期 高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰 《CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2003年第06期 顾磊,秦明,黄庆安 《高分子电容式湿度变送器研究》PDF+DOC2003年第S2期 谢光忠,黄春华,蒋亚东,杨邦朝 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳 《基于PI湿敏薄膜的分布式光纤Bragg光栅湿度传感器》PDF+DOC2011年第11期 周怡妃,梁大开,曾捷,刘宏月,孙晓明 《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红 《用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究》PDF+DOC2014年第04期 卞晓月,张健,王剑平,吉淳,吴一奇
  • 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺(PI)为介质膜,以铬、金为电极的电容式湿度传感器.给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理.测试结果表明:在相对湿度RH为0~96%范围内C~RH曲线线性度良好,灵敏度为RH变化1%,电容变化0.15~0.17pF,该种湿度传感器的RH长期稳定性为3%/

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