作者：姚素英,曲宏伟,张维新,毛赣如,李永生 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》1999年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU1999110200 DOC编号：DOCDZXU1999110209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律，优化多晶硅应变电阻的设计，弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点，研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.计算分析结果与实验基本相符

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