《硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化》PDF+DOC
作者:樊尚春,李明明,宋治生
单位:中国航空学会;北京航空航天大学
出版:《航空学报》1999年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHKXB904.0170
DOC编号:DOCHKXB904.0179
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对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合,提高振子的Q值,采用有限元仿真分析的方法,优化敏感边界结构参数。
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