作者：罗晓章,周百令,张燕娥 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1999年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS903.0000 DOC编号：DOCYBJS903.0009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成，分析了其工作机理，给出了其设计原则和加工工艺，最后通过实例验证了该设计方法的适用性。

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