《硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究》PDF+DOC

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2. 《日常生活中的传感器》PDF+DOC 传感器是把非电学物理量(如速度、位移、压力、温度、湿度、流量、声强、光照度等)转换成易于测量、传输、处理的电学量(如电压、电流、电阻、电容等)的一种器件，...
3. 《基于隧道效应的微机械角速率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案 ，还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度...
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6. 《静电键合力引起硅微结构畸变的研究》PDF+DOC 硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅—玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这些结构的畸变，造成器件特性劣化或破坏。本文分析了静电力的这些影响，并结合实践提出了一些解决方法...
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8. 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。...
9. 《一种新型硅电容式流速流向传感器的设计》PDF+DOC 设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成，这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移，通过四组正交电容来测量位移，从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出。...
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