《光纤气体传感器的研究》PDF+DOC
作者:阎卫平,刘文琦,牛德芳,汤素芬
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1998年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1998030040
DOC编号:DOCCGJS1998030049
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器.它采用光通信用多模光纤,利用IC工艺中的光刻和化学腐蚀等技术,在硅片上制出传感器的整体结构.这种传感器的结构简单、测量方便、重复性好、成本低,有深入研究的价值。
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