《一种集成超声传感器新结构》PDF+DOC
作者:郑学仁,刘百勇,李斌,黎沛涛
单位:南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所)
出版:《固体电子学研究与进展》1998年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGTDZ1998020030
DOC编号:DOCGTDZ1998020039
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设计了一种具有片上读出电路的集成超声传感器新结构,并用PI膜来垫高扩展栅电极。和典型POSFET结构相比,所制作样品的灵敏度提高14dB以上,带宽可达7MHz,满足超声传感器需要。
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