《薄膜电容式压力传感器》PDF+DOC
作者:闫进峰,王捷婷
单位:中国航天科技集团公司第七O四研究所
出版:《遥测遥控》1998年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYCYK801.0050
DOC编号:DOCYCYK801.0059
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介绍了利用薄膜工艺制作的一种电容式压力传感器。此种传感器除具有高的常态精度外,突出优点是温度和时间稳定性好,寿命长。介绍此种传感器结构和变换电路的设计思路并分析了此产品在航天测试领域中的应用前景。
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