作者:禹延光,孙晓明,马强,强锡富 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》1999年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS1999030050 DOC编号:DOCCGJS1999030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文提出了一种利用半导体激光自混合干涉效应的差动式位移传感器测量系统,建立了系统的数学模型,给出了小范围内位移测量较精确的表达式.与其他几种自混合型半导体位移测量方法相比,本文的结果不仅精确度高,且分辨率也大大提高.

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