作者：张巧云,吕志清 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1998年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG802.0140 DOC编号：DOCYDSG802.0149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性、必然性。介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。

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