作者:林洪,郝永德,陈卢金,孙良彦,张彤,陈丽华 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》1998年第11期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS811.0020 DOC编号:DOCYBJS811.0029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 一体化温湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Al2O3陶瓷基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器。湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻,温度传感器采用具有NTC特性的MnCoNi系氧化物厚膜热敏电阻。它不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量,而且给湿度传感器的温度补偿带来了极大的方便。

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