《硅微结构惯性传感器的研制现状及应用前景》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《微型机电系统》PDF+DOC 分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 ，正是我国发展该领域的好时机...
2. 《MEMS传感器发展现状与应用》PDF+DOC MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用，然后着重对几个传感器进行了介绍，最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行......
3. 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC 文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ，介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ，以期揭示未来的发展方向...
4. 《硅加速度计系统设计技术》PDF+DOC 介绍了力平衡式硅加速度计的设计 ，勾画了 MEMS产品的一般设计思路和方法 .微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证了整个系统的最终性能与特性 .因此 ，系统的考虑和兼顾的设计正是一个机电混合系统的设计准则...
5. 《纳米技术与现代传感器》PDF+DOC 纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向２１世纪的一门新技术，广泛涉及到材料学、机械学、电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的特点及其在现代微传感器上的应用现状的同时，重点分析国外几种典型现代微传感器的结构方案和工作原理，并对现代微传感器的几种制作技术及工艺作了比较详细的分析。...
6. 《现代传感器技术》PDF+DOC 主要介绍建立在微电子机械系统技术基础上的现代传感器技术，显示了它对改造航天、航空、军事科学与国民经济的能力与未来发展的深远影响。例举了几种典型的微机械结构传感器，并通过这些实例介绍了微电机械系统的设计与典型的微机械制造工艺技术。...
7. 《微机械技术发展现状》PDF+DOC 介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。...
8. 《面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术》PDF+DOC —微米／纳米技术是本世纪出现且发展迅猛的一项高新技术。本文在论述了微型机电系统和专用集成微型仪器的制造工艺和发展动态的基础上，进一步论述了小型、微型和“纳米”卫星概念和应用前景。本文还对纳米技术的实质及其产生的革命性影响进行了讨论。微米／纳米技术的应用前景充分显示了其鲜明的军民两用性，将深刻地影响国......
9. 《基于MEMS传感器的数字式航姿系统设计》PDF+DOC 针对传统的模拟平台式航姿系统的不足，设计并实现了基于微惯性传感器和微磁传感器的数字式捷联惯性航姿系统。结合四元数微分方程，利用一种以加速度计和磁航向为观测量的卡尔曼滤波器进行数据融合，实现了对陀螺漂移的修正。PC104作为导航计算机，安装了微软高性能嵌入式操作系统。实物静态和跟踪实验表明：该航姿系统......
10. 《MEMS和导航级MEMS惯性传感器》PDF+DOC 介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术，重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状，最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。...