作者：邹强,陆德仁,王渭源 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》1998年第02期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ802.0060 DOC编号：DOCGNCQ802.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 描述了一种用无掩模各向异性腐蚀技术制造对称体微机械梁质量块加速度传感器的结构。由于梁在质量块中心对称位置上，在结构上消除了加速度传感器的横向灵敏度效应。在对四梁结构及悬臂梁结构加速度计灵敏度及固有频率进行分析的基础上，用灵敏度频率积取优值的方法进行加速度计的结构参数优化。采用了一种新颖的微力微位移天平测试方法，初步测量了加速度计结构的静态特性。

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